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在半導(dǎo)體制造過程中，靜電是一個需要嚴(yán)格控制的因素，因?yàn)榧词故俏⑿〉撵o電放電也可能損壞敏感的電子元件或?qū)е聣m埃粒子吸附在晶圓表面，從而影響產(chǎn)品的成品率和可靠性。
在整個半導(dǎo)體制造過程中都會產(chǎn)生靜電荷，主要由不同材料的接觸和分離引起。靜電荷通過三種方式影響生產(chǎn)率和良率，靜電荷會靜電吸引（ESA）空氣中的顆粒，從而導(dǎo)致晶圓和光罩的潛在良率損失。
日本SIMCO思美高產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在靜電控制和除靜電設(shè)備方面，以減少生產(chǎn)中的靜電和微粒對半導(dǎo)體制造過程的影響。SIMCO思美高的靜電控制和除靜電設(shè)備、離子棒和離子風(fēng)機(jī)等設(shè)備通過電暈放電產(chǎn)生正負(fù)離子，中和空氣和工作表面的靜電荷，從而減少靜電吸附和放電對半導(dǎo)體制造過程的影響。
除靜電槍
TOP GUN3靜電消除槍
Top Gun3靜電消除槍是一款高性能靜電消除槍適用于各種應(yīng)用。Top Gun的平衡電壓為 0±15V，具有高吹掃力和低耗氣量，可實(shí)現(xiàn)高效清潔和的靜電荷衰減。
特點(diǎn)：
可調(diào)節(jié)氣流的流量控制閥
集成、可更換的過濾噴嘴
巧、符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)
電平衡離子輸出，配備電離指示燈
對于自動化裝配，配備光學(xué)傳感器的 Top Gun可在物體進(jìn)入范圍時自動啟動噴槍。配備Sidekick的Top Gun可在裝配和制造過程中實(shí)現(xiàn)免提操作和靈活定位。腳踏板可同時控制電離和氣流，從而降低壓縮空氣成本并延長電離器的使用壽命。
Top Gun吹非常適合“使用點(diǎn)"電離。槍管輕巧且符合人體工程學(xué)，操作員可將其噴嘴直接對準(zhǔn)最終電子裝配工位的目標(biāo)。強(qiáng)大的吹氣力還能有效去除顆粒污染物。
AirForce 6115靜電吹塵槍
AirForce 6115型吹塵槍動力強(qiáng)勁，能夠有效去除顆粒污染物，是清潔工藝應(yīng)用的理想之選。6115型吹塵槍是一款達(dá)到 ISO 14644-14級清潔度標(biāo)準(zhǔn)的吹塵槍產(chǎn)品。穩(wěn)態(tài)直流離子發(fā)射可提供高效電離，平均放電時間小于1.0秒。
特點(diǎn)：
ISO 14644-14級清潔度操作
帶有一體式低壓電源線的靈活、輕便的空氣軟管
符合人體工程學(xué)的噴槍設(shè)計(jì)，采用耐用的靜電耗散材料
強(qiáng)勁的吹脫力，可更換的發(fā)射點(diǎn)組件和快速彈出過濾器
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